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观测硅单晶定向晶体中缺陷的实验方法

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观测硅单晶定向晶体中缺陷的实验方法

发布日期:2019-09-23 09:00 来源:http://chumies.com 点击:

目前用来观测硅单晶定向中缺陷的实验方法很多,金相腐蚀法就是其中一种,这种方法操作简单,直观,是晶体缺陷观察的有力工具。

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单晶定向晶体面上位错和硅外延片面上层错的腐蚀显示。

对于晶面硅单晶用希尔腐蚀液腐蚀后,它们的位错腐蚀坑呈黑三角形。对于晶向没有偏离时,刃位错可以看出三角形,螺位错可看出螺线;若晶向略有偏离晶向时,腐蚀坑图形也会发生变化。

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